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1. 概述

    目前用油做工作介质或润滑的获得高真空的真空泵主要是由蒸汽流泵、分子泵，油蒸汽流泵是以油作为工作介质，获得中真空和高真空的主要泵。按照工作压力范围的不同，分为油扩散泵和油扩散喷射泵两类。
一般油扩散泵最佳的工作范围（ 10^-1-10^-4Pa）、油扩散喷射泵(油增压泵)的最佳工作范围（10～10^-1Pa）。
分子泵主要分为：蜗轮分子泵、牵引分子泵、复合分子泵。是获得准无油清洁高真空机械式真空泵，最佳的工作范围（ 10-10^-4Pa），分子泵是在高速旋转的运动状态下（一般每分钟几万转），由于其工作范围常在高真空状态，故将其用润滑油也归在和蒸汽流泵在一块介绍。
1.1 油扩散喷射泵（油 增压泵）用油
1.1.1油扩散喷射泵原理
油扩散喷射泵工作原理同喷射泵和扩散泵一样，也是利用高速的蒸汽流来抽气的，所不同的是综合了这两种泵的工作特点，既有喷射泵的拉瓦尔喷嘴，又有喷射泵的喷射喷嘴。因而蒸汽流抽气原理不仅有携带抽走气体分子的作用，而且还有扩散抽气作用。
油扩散喷射泵不能单独工作，其实用工作抽气范围10～10^-1Pa，需要用油封机械泵作前级泵抽到133.3Pa的预真空才能正常工作。
1.1.2油扩散喷射泵油的特性
采用精制矿物油馏分润滑油料，再经分子蒸馏切割成窄馏分，并经硫酸铝吸附、真空脱气制得。
1.1.3增压泵油质量指标
本表为大连石化公司Q/SH011-015-1994中规定的技术标准
表1 增压泵油技术指标

项目	质量指标	试验方法
运动粘度（50℃）/（mm2/s）                    不大于	20	GB/T265
酸值（mgKOH/g）                              不大于	0.01	GB/T264
灰分（%）                                    不大于	0.005	GB/T508
闪点（开口）/℃                              不低于	180	GB/T267
倾点/℃                                      不高于	-2	GB/T3535
机械杂质（%）	无	GB/T511
水溶性酸或碱	无	GB/T259
饱和蒸汽压（20℃）/Pa                            不大于	666.6×10-5	SH/T0293
水分（%）	无	GB/T260

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适合于润滑各中场合的油增压泵，如真空冶炼、塑料连续喷镀金属、真空蒸馏及低密度风洞装置等抽气设备。

1.2 中真 CV-Z 增压泵油
本产品由分子量较大的烃类基础油经分子蒸馏,并加入多种添加剂制备而成。本品化学性能稳定，技术性能与国外同类产品相当。

1.2.1CV-Z增压泵油性能
1）良好的氧化安定性和化学稳定性；
2）极高的抽气速率；
3）极低的饱和蒸气压和较大的分子量。
本产品最大的特点是能满足泵的抽气需要和真空稳定度极好.

1.2.2 CV-Z增压泵油用途
适用于各种增压泵的工作液;被广泛应用于冶金、化工、电力、真空镀膜、轻纺、医药、航空等工业领域。
适用于真空冶炼、塑料连续喷镀金属、真空蒸馏及低密度风洞装置等的抽气设备;为充分发挥其真空性能，须在最佳加热功率下使用。
。
1.2.3CV-Z增压泵油质量性能
表 2  CV-Z 增压泵油质量性能指标  Q/

测试项目		质量性能指标
		CV-Z22	CV-Z30	CV-Z46
粘度等级（GB3141）		22	30	46
运动粘度(40℃)，mm2 /s		18.8～24.2	28.8～35.2	41.4～50.6
粘度指数             ≥		报告	报告	报告
闪点(开口)，℃        ≥		180	210	210
倾点， ℃            ≤		-10	-12	-10
色度， 号            ≤		0.5	0.5	0.5
水分，               %		无	无	无
机械杂质		无	无	无
腐蚀试验 (铜片,100℃,3h)级     ≤		1a	1a	1a
抗乳化度 (40-40-0)ml,min 54℃                ≤		15	15	15
泡沫特性 (泡沫倾向/稳定性) (ml/ml) ,≤	24℃ 93.5℃ 后24℃	80/0 50/0 60/0	80/0 50/0 60/0	80/0 50/0 60/0
极限压力（全压），KPa          ≤		3.5×10－5	6.7×10－6	7.0×10－6

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高真空油扩散泵是在室温下饱和蒸汽压很低的矿物油型扩散泵油或硅油经油锅加热蒸发成蒸汽，经导流管，喷嘴形成高速蒸汽射流作为工作介质，靠扩散和携带完成抽气过程的一种高真空获得设备。
扩散泵油不属于机械真空泵油，国外较典型规格有英国Edwards公司Apiezon真空扩散泵油，德国Leybolds公司LVO500系列扩散泵油，日本松村MORESCO的SX、SY型扩散泵油，美国道康宁公司DC704、DC705硅油等。
我国在1992年发布了矿物型扩散泵油标准（SH0529-92），设立了46、68、100三个粘度等级，对应于扩散泵（SY1635）标准1、2、3号，饱和蒸气压和极限压力等指标比原来SY1635标准规定有明显提高。
1.3.1矿物油型扩散泵油的选用
采用深度精制、溶剂脱蜡所得基础油，再经分子蒸馏切割成窄馏分，经硫酸铝吸附真空脱气制得。具有较低的饱和蒸气压和极限压强，热稳定性和化学稳定性良好，挥发性低，返流量小。

1.3.2矿物油型扩散泵油的特性
1）较低的饱和蒸汽压，油蒸汽遇到冷壁后能迅速冷凝成新的工作液；
2）馏程窄，分子量大，抽速大，当油加热到沸点后，能迅速产生大量生产油蒸汽，高速喷射出蒸汽流，带走被抽气体；
3）化学组成合理，具有良好的氧化安定性和热安定性；
4)CV-系列返油率极低,在经常处于200℃工作温度时和在金属催化作用下不易氧化。

1.3.3 矿物油型扩散泵油的质量标准（取代SY1635-66）
石化行业标准SH0529-1992规定的技术指标如下。

表3 SH0528-1992 矿物型 扩散泵油质量标准

项*************************目	质 量 指 标			试验方法
	46	68	100
运动粘度（40℃），mm2/s	41.4～50.6	61.2～74.8	90～100	GB/T265
平均分子量 ******************** 不小于	380	420	450	SH/T0220附录B
色度号 **********************   不大于	0.5	1.0	2.0	GB/T6540
倾点，℃ **********************  不高于	-9	-9	-9	GB/T3535
闪点（开口），℃ ************ **  不低于	220	230	250	GB/T3536
机械杂质，%	无	无	无	GB/T511
水分，%	无	无	无	GB/T260
酸值，mgKOH/g ***************   不大于	0.01	0.01	0.01	GB/T4945
灰分，% ***********************  不大于	0.005	0.005	0.005	GB/T508
残炭，% ***********************  不大于	0.02	0.02	0.02	GB/T268
腐蚀试验（铜片，100℃，3h）， 级 ***************************  不大于	1	1	1	GB/T5096
饱和蒸气压（20℃），KPa *******   不大于	5×10-9	1×10-9	5×10-10	SH/T0293
极限压强（全压），KPa *******  ** 不大于	7×10-8	5×10-8	3×10-8	SH/T0294
热安定性（150℃ ，24h）	报告	报告	报告	SH/T0529 附录A

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    用于各种类型的玻璃和金属扩散泵，扩散泵油主要用于高真空扩散泵。并可根据到达压力的范围能充分选择不同分子量的扩散泵油。
适用于在高真空蒸馏、真空冶炼、真空镀膜、真空熔炉；航天、电子工业及原子能工业等领域应用，以获得高真空环境。
对于真空度要求高的场合，宜选用100或68号油。真空系统析出气体较多，容易使扩散泵氧化污染的场合，可选用46或68号油。各牌号油均可用作直联高速真空泵油使用 (仅限于DVC、DVE) 。

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    CV-S 275扩散泵硅油以无机硅氧键为骨架，在硅原子上直接连接有机基团的有机硅化合物。
该产品具有极优良的热安定性和氧化安定性，使油品的蒸气压与泵的极限压强数值接近。当真空系统突然泄漏，大量空气冲击下，仍能保持原有的真空特性。因此，非常适于超高真空扩散泵的使用。